四、对准(alignment)
光刻对准技术是---前的一个重要步骤作为光刻的三大技术之一,一般要求对准精度为
受光刻分辨力提高的推动 ,对准技术也经历 迅速而多样的发展 。从对准原理上及标记结 构分类 ,nr9 3000p光刻胶,对准技术从早期的投影光刻中的几何成像对准方式 ,包括视频图像对准、双目显微镜对准等,nr9 3000p光刻胶厂家,一直到后来的波带片对准方式 、干涉强度对准 、激光外差干涉以及莫尔条纹对准方式 。从对准信号--- ,主要包括标记的显微图像对准 、基于光强信息的对准和基于相位信息对准。
pr1-2000a1 试验操作流程
pr1-2000a1的厚度范围可以做到 1500到3500nm,如下以膜厚2900nm为列;
1,静态滴胶后以1300转/分速度持续40秒。同时必须需要在1秒内达到从0转/分到1300转/分的升速度;
2,前烘:热板120度120秒;
3,nr9 3000p光刻胶,冷却至室温;
4,用波长为365,406,436的波长---,
5,在温度为20-25度,使用rd6浸泡式、喷雾、显影 ;
6,去除光刻胶,可使用ch3coch3,rr5,rr41等。
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