rr5光刻胶-北京赛米莱德公司-rr5光刻胶

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    2020-10-1

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pc6-16000

nr9-3000py 相对于其他光刻胶具有如下优势:

- 优异的分辨率性能

- 快速地显影

- 可以通过调节---能量很容易地调节倒梯形侧壁的角度

- 耐受温度100℃

- 室温储存保质期长达3 年

nr9-1000py 0.7μm - 2.1μm

nr9-1500py 1.1μm - 3.1μm

nr9-3000py 2.1μm - 6.3μm

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12.2μm  

resist thickness

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光刻胶

光刻胶组分及功能

光引发剂

光引发剂吸收光能(辐射能)后经激发生成活性中间体,并进一步引发聚合反应或其他化学反应,是光刻胶的关键组分,对光刻胶的感光度、分辨率等起决定性作用。

树脂

光刻胶的基本骨架,rr5光刻胶价格,是其中占比较大的组分,主要决定---后光刻胶的基本性能,包括硬度、柔韧性、附着力、---前后对溶剂溶解度的变化程度、光学性能、耐老化性、耐蚀刻性、热稳定性等。

溶剂

溶解各组分,是后续聚合反应的介质,rr5光刻胶,另外可调节成膜。

单体

含有可聚合---团的小分子,也称之为活性稀释剂,一般参加光固化反应,可降低光固化体系粘度并调节光固化材料的各种性能。










4,---

前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行---,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,

光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;

对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。

---时间,rr5光刻胶,由光源强度,光刻胶种类,厚度等决定,

另外,为降低驻波效应影响,可在---后需进行烘焙,称为光后烘焙(peb


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