




光刻胶分类
市场上,光刻胶产品依据不同标准,可以进行分类。依照化学反应和显影原理分类,光刻胶可以分为正性光刻胶和负性光刻胶。使用正性光刻胶工艺,形成的图形与掩膜版相同;使用负性光刻胶工艺,形成的图形与掩膜版相反。
按照感光树脂的化学结构分类,光刻胶可以分为光聚合型,采用烯类单体,在光作用下生成自由基,进一步引发单体聚合,后生成聚合物,具有形成正像的特点;光分解型,采用含有---醌类化合物的材料,其经光照后,发生光分解反应,可以制成正性胶;为了提高---系统分辨率的性能,futurrex的光刻胶正在研究在---光刻胶的表面覆盖抗反射涂层的新型光刻胶技术。光交联型,采用---月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,形成一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀作用,可以制成负性光刻胶。
按照---波长分类,光刻胶可分为紫外光刻胶(300~450nm)、深紫外光刻胶(160~280nm)、极紫外光刻胶(euv,13.5nm)、电子束光刻胶、离子束光刻胶、x射线光刻胶等。不同---波长的光刻胶,其适用的光刻---分辨率不同,通常来说,在使用工艺方法一致的情况下,波长越小,加工分辨率越佳。彩色薄膜少了光刻胶,产生不了绚丽的画面显示器是人与机器沟通的重要界面。
光刻胶市场
全球光刻胶市场扩增,对光刻胶的总需求不断提升。据估计,2015年国际光刻胶市场达73.6亿美元,其中pcb光刻胶占比24.5%,lcd光刻胶占26.6%,半导体光刻胶占比24.1%。2010年到2015年期间,国际光刻胶市场年复合增长率约为5.8%;据产业---数据,2015年,pcb光刻胶、lcd光刻胶和半导体光刻胶的国际市场增速均在5%左右。在下游产业的带动下,江瀚咨询预计国际光刻胶市场规模在2022年可能突破100亿美元。显示器,oleds,波导(waveguides),vcsels,成像,电镀,纳米碳管,微流体,芯片倒装等方面。
光刻胶
按感光树脂的化学结构,光刻胶可分为光聚合型光刻胶、光分解型光刻胶和光交联型光刻胶。在应用中,采用不同单体可以形成正、负图案,并可在光刻过程中改变材料溶解性、抗蚀性等。
光聚合型光刻胶
烯类,在光作用下生成自由基,自由基再进一步引发单体聚合。
光分解型光刻胶
---醌类化合物,经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性。
光交联型光刻胶
---月桂酸酯,在光的作用下,分子中的双键打开,链与链之间发生交联,形成一种不溶性的网状结构从而起到抗蚀作用。
按---波长,光刻胶可分为紫外(300~450 nm)光刻胶、深紫外(160~280 nm)光刻胶、极紫外(euv,13.5 nm)光刻胶、电子束光刻胶、离子束光刻胶、x 射线光刻胶等。
按应用领域,光刻胶可分为pcb 光刻胶、lcd 光刻胶、半导体光刻胶等。pcb 光刻胶技术壁垒相对其他两类较低,而半导体光刻胶代表着光刻胶技术的水平。





